近年來,利用光學(xué)原理開發(fā)的非接觸測量機(jī)及各種裝置非常多。如MARPOSS公司的非接觸式工具測量系統(tǒng)MidaLaser就是利用激光測頭的新型測量機(jī),該機(jī)可在CNC機(jī)床保持運轉(zhuǎn)的情況下,自動對所有工具進(jìn)行非接觸測量,并可根據(jù)測量所得數(shù)值,對工具進(jìn)行自動定位。索尼精密工程公司的非接觸形狀測量機(jī)YP20/21也是利用半導(dǎo)體激光高速高精密自動聚焦傳感器的形狀測量機(jī),所有刻度尺均系標(biāo)準(zhǔn)元件,傳感器和載物臺均由微型計算機(jī)控制,具有優(yōu)異的操作性能和數(shù)據(jù)處理功能。YKT公司銷售的非接觸三坐標(biāo)測量系統(tǒng)Zip250是一種高剛性、高速、高精密的新型測量機(jī)。該機(jī)載物臺的承載量為25千克,刻度尺的分辨力(X、Y、Z軸)均為0.25微米。機(jī)上裝配了帶數(shù)碼法蘭盤的CCD攝像機(jī)和DSP處理器,因此,可進(jìn)行高速圖像處理測量,同時,也可與接觸式測頭并用進(jìn)行相關(guān)測量。
隨著非接觸、率測量機(jī)的大量出現(xiàn),專家們預(yù)計,21世紀(jì)測量技術(shù)的發(fā)展方向大致如下:
(1)測量精度由微米級向納米級發(fā)展,進(jìn)一步提高測量分辨力;
(2)由點測量向面測量過渡,提高整體測量精度(即由長度的精密測量擴(kuò)展至形狀的精密測量);
(3)隨著圖像處理等新技術(shù)的應(yīng)用,遙感技術(shù)在精密測量工程中將得到推廣和普及;
(4)隨著標(biāo)準(zhǔn)化體制的確立和測量不確定度的數(shù)值化,將有效提高測量的可靠性??傊瑴y量技術(shù)必須實現(xiàn)高精度化,同時也要求實現(xiàn)高速化和率化,因此,非接觸測量和率測量也就必然成為新世紀(jì)精密測量技術(shù)的重要發(fā)展方向。
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